盛美半导体设备（上海）股份有限公司关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以

募集资金置换的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年10月28日召开第二届董事会第二十四次会议，审议通过了《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金置换的议案》。为提升公司运营管理效率，同意公司在募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）实施期间使用自有资金方式支付募投项目所需部分资金，后续以募集资金置换，从募集资金专户划转资金至公司非募集资金账户，该部分置换资金视同募投项目使用资金。保荐机构国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对本事项出具了明确的核查意见，现将具体情况公告如下：

一、募集资金的基本情况

根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股（以下简称“本次发行”），每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。

为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》

《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

二、募集资金投资项目情况根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行A股股票募集说明书》以及《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-075）的相关内容，本次发行募集资金扣除各项发行费用后，将用于投入以下项目：

单位：万元

三、募投项目实施期间使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金置换的原因以及操作流程

根据中国证券监督管理委员会发布的《上市公司募集资金监管规则》第十五条第二款规定：“募集资金投资项目实施过程中，原则上应当以募集资金直接支付，在支付人员薪酬、购买境外产品设备等事项中以募集资金直接支付确有困难的，可以在以自筹资金支付后六个月内实施置换。”

公司在募投项目实施过程中，根据募集资金专款专用原则，全部支出均应从募集资金专户直接支付划转。在募投项目实施期间，公司使用自有资金支付募投项目部分款项，主要原因以及操作流程如下：

公司及子公司在执行募投项目时涉及境外采购原材料、设备、试制测试、研发器件以及研发相关的其他服务，需要及时向境外供应商进行外汇支付。因使用募集资金账户进行直接支付效率较低，为保证募投项目顺利实施，先行使用公司自身或子公司的外汇进行垫付，后续再从募集资金专户支取款项，该部分置换资金视同募投项目使用资金。

为保证账目准确，并满足监管要求和管理需求，上述事项具体流程如下：

1、公司根据实际需要以及相关内控制度，与其子公司签订采购等相关协议，子公司根据协议要求，进一步对上述事项进行采购或提供相关服务并以自身外汇进行垫付，同时分类汇总并保留相关支付单据；

2、根据《上市公司募集资金监管规则》及公司《募集资金管理制度》的相关规定，综合考虑募投项目用款情况，由相关负责部门业务经理提出申请，并匹配相应结算单、合同协议、订单、发票及报关单等，按照公司内控签核制度复核、审批付款申请单后，交由财务部门复核募集资金项目的结算，并报财务经理审批；

3、使用募集资金进行支付的付款申请单得到批准后，公司再根据所签订的协议，在以自有资金方式支付后的6个月内，从募集资金专项账户中划拨款项至子公司自有资金账户。公司编制相关明细账，明细账应逐笔记载相关交易的账户、金额、摘要等。保荐机构及保荐代表人应每月及时获取上述提及的明细账、协议、订单、发票、付款审批单、报关单、境外汇款单等相应支付凭证，检查其流程的合规性以及交易发生的真实性，并将相关凭证与募集资金专户进行综合比对，确保公司募集资金存放和使用的合法合规性；

4、此外，保荐机构和保荐代表人对公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金置换的情况进行持续监督，有权定期或不定期对公司采取现场核查、书面问询等方式行使监督权，公司及募集资金存放银行应当配合保荐机构的核查与问询。

四、对公司日常经营的影响

公司在募投项目实施期间，根据募投项目实施情况，使用自有资金支付募投项目所需资金，后续以募集资金置换，有利于提高公司运营管理效率，保障募投项目的顺利推进，符合公司及股东的利益，不会影响公司募投项目的正常开展，不存在改变或变相改变募集资金投向及损害公司和股东利益的情形。

五、公司履行的审议程序

公司于2025年10月27日、28日分别召开第二届董事会审计委员会2025年第五次会议和第二届董事会第二十四次会议，审议通过了《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金置换的议案》，同意公司在募投项目实施期间使用自有资金方式支付募投项目所需部分资金，后续以募集资金置换，从募集资

金专户划转资金至公司非募集资金账户，该部分置换资金视同募投项目使用资金。该事项在董事会权限范围内，无需提交股东会审议。

六、专项意见说明

（一）审计委员会意见审计委员会认为：募投项目实施期间公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金置换，履行了必要的决策程序，制定了相应的操作流程，上述事项的实施，不会影响募投项目的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，决策和审批程序符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。

综上，审计委员会同意公司在募投项目实施期间使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金置换，并将该事项提交公司董事会审议。

（二）保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为，公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金置换的事项已经审计委员会、董事会审议通过，履行了必要的审批程序，不存在变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行和损害股东利益；相关事项符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。保荐机构对公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金置换的事项无异议。

七、上网公告附件

《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金置换的核查意见》

特此公告。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会2025年10月30日