国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”、“公司”或“发行人”）首次公开发行股票并在科创板上市以及2024年度向特定对象发行股票的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项进行了核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股（以下简称“本次发行”），每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。

为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

二、募集资金投资项目情况

根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行A股股票募集说明书》以及《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》的相关内容，本次发行募集资金扣除各项发行费用后，将用于投入以下项目：

单位：万元

序号

研发和工艺测试平台

建设项目

94,034.85 92,234.85 92,234.85

高端半导体设备迭代研发项目

225,547.08 225,547.08 220,848.653 补充流动资金 130,418.07 130,418.07 130,418.07

450,000.00 448,200.00 443,501.57

三、本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况概述

（一）投资目的

为进一步规范公司募集资金的使用与管理，在不影响募集资金投资计划正常进行的前提下，合理利用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，可以提高募集资金使用效益。

（二）额度及期限

在保证不影响公司募集资金投资计划正常进行的前提下，公司拟使用最高不超过人民币24亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。

（三）资金来源

本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的资金来源为公司2024年度向特定对象发行A股股票的募集资金。

根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股，每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05

元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。

为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

发行名称

2024年度向特定对象发行A股股票

2025年9月16日

448,200.00万元

443,501.57万元

不适用

研发和工艺测试平

台建设项目

6.81% 不适用

高端半导体设备迭

代研发项目

2.57% 不适用

补充流动资金 0.00% 不适用

达到预定可使用状

态时间是否影响募投项目实施

否注：1、截至2025年9月26日登记完成，公司尚未使用募集资金投入募投项目；

2、累计投入进度 = 截至2025年9月26日自筹资金已预先投入募投项目金额（即本次拟

使用募集资金置换的金额）/ 调整后拟使用募集资金投资金额。

（四）投资方式

1、投资产品品种

为控制资金使用风险，公司拟使用闲置募集资金购买流动性好、安全性高、有保本约定的理财产品或存款类产品，包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、通知存款、定期存款、大额存单、信托理财产品、收益凭证等，产品期限不超过十二个月。该等现金管理产品不用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

2、决议有效期

自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。

3、实施方式

公司董事会授权公司董事长或董事长授权人员在上述额度范围内行使投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。

4、信息披露

公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定和要求，及时披露募集资金进行现金管理的具体情况，不变相改变募集资金用途。

5、现金管理收益的分配

公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

（五）最近12个月截至目前公司募集资金现金管理情况

公司最近12个月截至目前公司使用IPO募集资金现金管理情况如下：

序号

1 普通大额存单 9,000 - - 9,000

尚未收回本金金额（万元）

合计

- 9,000最近12个月内单日最高投入金额（万元） 9,000最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净资产（%） 1.17最近12个月内单日最高投入金额/最近一年净利润（%） 7.80募集资金总投资额度（万元） 10,000目前已使用的投资额度（万元） 9,000尚未使用的投资额度（万元） 1,000

四、审议程序及相关意见

（一）公司审计委员会

公司于2025年10月27日召开第二届董事会审计委员会2025年第五次会议。公司审计委员会认为：公司本次拟使用不超过人民币24亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理，相关事项符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券

交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。本次事项不存在变相改变募集资金用途的情形，不会对公司主营业务的正常开展及募投项目的实施造成不利影响，不存在损害公司及全体股东，特别是中小股东利益的情形。公司审计委员会同意公司使用最高不超过人民币24亿元的暂时闲置募集资金在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下进行现金管理，并将该事项提交公司董事会审议。

（二）公司董事会

公司于2025年10月28日召开第二届董事会第二十四次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币24亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。

五、投资风险分析及风控措施

（一）投资风险

尽管公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理将用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，不排除该项投资受到市场波动的影响。

（二）风险控制措施

1、为控制风险，公司进行现金管理时，将选择购买安全性高、流动性好的、

有保本约定的投资产品。

2、公司现金管理投资品种不得用于股票及其衍生产品。上述投资产品不得

用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

3、公司财务部安排专人及时分析和跟踪现金管理产品投向、项目进展情况，

一旦发现或判断有不利因素，及时通报公司内审人员、公司董事长，并采取相应

的保全措施，最大限度地控制投资风险、保证资金的安全。

4、公司独立董事、董事会审计委员会有权对资金使用情况进行监督与检查，

必要时可以聘请专业机构进行审计。

5、公司将严格根据中国证监会和上海证券交易所的相关规定，及时履行信

息披露的义务。

六、对公司日常经营的影响

公司本次计划使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公司日常资金正常周转需要和募集资金项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。同时，对暂时闲置的募集资金适时进行现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司和股东谋取较好的投资回报。

七、保荐机构核查意见

经核查， 保荐机构认为， 公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项已经审计委员会、董事会审议通过，履行了必要的审批程序，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定，不存在变相改变募集资金用途的情形，不会对公司主营业务的正常开展及募投项目的实施造成不利影响，不存在损害公司及全体股东，特别是中小股东利益的情形。保荐机构对公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项无异议。（以下无正文）

（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见》之签字盖章页）

保荐代表人签名：

张博文

李凌

国泰海通证券股份有限公司

年 月 日