招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

部分首次公开发行前已发行股份

上市流通的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第13号——保荐业务》等有关规定，对矽电股份部分首次公开发行前已发行股份上市流通的事项进行了核查，并出具本核查意见，具体情况如下：

一、本次上市流通的限售股类型

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）核准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）10,431,819股，并于2025年3月24日在深圳证券交易所创业板上市。

首次公开发行股票前，公司总股本为31,295,455股；首次公开发行股票完成后，公司总股本为41,727,274股。其中，首发前限售股为31,295,455股，占发行后总股本的比例为75.00%；无限售条件流通股10,431,819股，占发行后总股本的比例约为25.00%。

因公司董事持股情况变动，截至本核查意见出具日，公司有限售条件股份数量变更为31,295,555股，占公司总股本的比例约为75.00%；无限售条件股份数量为10,431,719股，占公司总股本的比例约为25.00%。

自公司首次公开发行股票限售股形成至今，公司未发生因利润分配、公积金转增等导致股本数量变动的情况。

二、申请解除股份限售股东履行承诺情况

本次申请解除限售的股东在公司《首次公开发行股票并在创业板上市之上市公告书》和《首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》中关于限售相关的承诺如下：

1．公司的机构股东宁波丰年景顺投资管理有限公司－成都川创投丰年君传军工股权投资基金合伙企业（有限合伙）、宁波丰年荣通投资管理有限公司－宁波梅山保税港区丰年君和创业投资合伙企业（有限合伙）、醴陵众微创新创业投资基金合伙企业（有限合伙）、深圳市西博创业投资合伙企业（有限合伙）－吉安市西博壹号自控创投合伙企业（有限合伙）、深圳市西博创业投资合伙企业（有限合伙）－吉安市西博聚鑫贰号创业投资合伙企业（有限合伙）、深圳市西博创新投资有限公司－吉安市西博汇鑫三号创投合伙企业（有限合伙）、深圳市西博创新投资有限公司－吉安市西博汇鑫贰号创业投资合伙企业（有限合伙）承诺：

（1）自发行人股票在证券交易所上市之日起十二个月内，本企业不转让或委托他人管理本企业直接和间接持有的发行人首次公开发行股票前已发行的股份，也不由发行人回购本企业直接或者间接持有的前述该部分股份。

（2）因发行人进行权益分派等导致本企业直接或间接持有发行人的股份发生变化的，本企业仍应当遵守上述承诺。

（3）本企业将遵守中国证监会《上市公司股东、董监高减持股份的若干规定》，深圳证券交易所《深圳证券交易所股票上市规则》、《深圳证券交易所上市公司股东及董事、监事、高级管理人员减持股份实施细则》的相关规定。如国家法律、行政法规、部门规章、规范性文件及中国证监会、深圳证券交易所等监管机关关于减持股份事项另有规定或有新规定的，本企业承诺从其规定执行。

（4）本企业将忠实履行上述承诺，如因本企业未履行相关公开承诺导致发行人或其他投资者遭受损失的，本企业将依法对发行人或其他投资者进行赔偿。

2．公司的自然人股东林志强、顾乡承诺：

（1）自公司股票在证券交易所上市交易之日起十二个月内（以下简称“锁定期”），本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的公司首次公开发行股票前已发行的股份，也不由公司回购该部分股份。

（2）根据法律法规以及深圳证券交易所业务规则的规定，出现不得减持股份情形时，本人承诺将不会减持发行人股份。锁定期满后，本人承诺将按照法律法规以及深圳证券交易所业务规则规定的方式减持，且不会违反相关限制性规定。在实施减持时，本人承诺将依据法律法规以及深圳证券交易所业务规则的规定履行必要的备案、公告程序，未履行法定程序前不减持。

（3）本人将忠实履行承诺，如本人未履行上述承诺事项，本人将在公司股东大会及中国证监会指定报刊上公开说明未履行承诺的具体原因并向公司的其他股东和社会公众投资者道歉。如违反上述承诺事项，所得收益归公司所有。

截至本核查意见出具日，本次申请解除限售的股东在限售期内严格遵守了上述承诺，不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。

截至本核查意见出具日，本次申请解除限售的股东不存在非经营性占用上市公司资金的情形，公司对上述股东不存在违规担保。

三、本次解除限售股份的上市流通安排

1.本次解除限售股份的上市流通日期为2026年3月24日（星期二）。

2.本次解除限售股份数量为8,764,335股，占公司总股本的比例为21.00%。

3.本次申请解除股份限售的股东共计9户。

4.本次股份解除限售及上市流通具体情况如下：

注：公司本次解除限售股份不存在被质押、冻结的情形。公司本次解除限售股份的股东中，无股东担任公司董事、高级管理人员，亦无股东为公司前任董事、监事、高级管理人员且离职未满半年的情形。

四、本次解除限售前后股本结构变动情况

注：本次解除限售后的股本结构以中国证券登记结算有限责任公司深圳分公司最终办理结果为准。

五、保荐机构的核查意见。

经核查，保荐机构认为：公司本次申请上市流通的首发前限售股数量及上市流通时间符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第13号——保荐业务》等相关法律法规和规范性文件的要求；公司本次申请上市流通的首发前限售股股东严格履行了其在首次公开发行股票中做出的相关承诺；公司关于本次首发前限售股份上市流通的相关信息披露真实、准确、完整。

综上，保荐机构对公司本次首发前限售股上市流通事项无异议。

（以下无正文）

（本页无正文，为《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司部分首次公开发行前已发行股份上市流通的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

胡洋洋包晓磊

招商证券股份有限公司

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