关于相关事项的独立意见根据《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》、《深圳证券交易所上市公司规范运作指引》及《公司章程》等有关规定，作为北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，我们对公司第七届董事会第十五次会议讨论的相关议案进行了审议，发表独立意见如下：

1. 关于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目自筹资金的议案公司以自筹资金预先投入募投项目的行为符合公司发展需要，中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募投项目实际使用自筹资金情况进行了鉴证，并出具了《关于北方华创科技集团股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目的鉴证报告》【中审亚太审字（2021）011090号】。本次以募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金合计人民币505,323,466.50元，其内容及程序符合《深圳证券交易所上市公司规范运作指引》及公司《募集资金管理办法》等文件的相关规定，符合公司在发行申请文件中对募集资金置换先期投入作出的安排，且没有未与募投项目的实施计划相抵触，不影响募投项目的正常进行，置换时间距募集资金到账时间未超过6个月，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况情形，符合全体股东的利益需要。因此，我们一致同意公司使用募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金人民币 505,323,466.50元。

2. 关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案在确保募集资金项目建设的资金需求以及募集资金使用计划正常进行的前提下，公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用不超过250,000万元的闲置募集资金暂时补充流动资金，用于与主营业务相关的经营活动，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。公司利用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，能有效提高募集资金使用的效率，降低公司财务费用，未与公司募集资金投资项目的实施计划相抵触，不影响募集资金项目的正常进行，也不存在变相改变募集资金投向、损害公司股东利益的情形，不会对募集资金项目实施造成实质性影响，符合《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《深圳证券交易所上市公司规范运作指引》和公司《募集

资金管理办法》等有关规定，并履行了法定程序。综上，我们同意北方华创微电子使用不超过250,000万元的闲置募集资金暂时补充流动资金，期限不超过12个月。

（以下无正文）

（本页无正文，为《北方华创科技集团股份有限公司独立董事关于相关事项的意见》之签字页）

独立董事签字：

吴汉明 陈胜华

刘 越 吴西彬